Tétrafluorure de silicium
| Tétrafluorure de silicium | |||
  Structure du tétrafluorure de silicium |
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| Identification | |||
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| Synonymes |
tétrafluorosilane |
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| No CAS | |||
| No ECHA | 100.029.104 | ||
| No CE | 232-015-5 | ||
| PubChem | |||
| SMILES | |||
| InChI | |||
| Apparence | gaz incolore, d'odeur acre[1]. | ||
| Propriétés chimiques | |||
| Formule | SiF4 | ||
| Masse molaire[2] | 104,079 1 ± 0,000 3 g/mol F 73,02 %, Si 26,98 %, |
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| Propriétés physiques | |||
| T° fusion | −90 °C | ||
| T° ébullition | −86 °C | ||
| Solubilité | dans l'eau : réaction[1] | ||
| Masse volumique | 1,66 g·mL-1 (−95 °C, solide)[3] 4,69 g·L-1 (0 °C, gaz)[3] |
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| Point critique | 37,2 bar, −14,15 °C[4] | ||
| Propriétés électroniques | |||
| 1re énergie d'ionisation | 15,24 ± 0,14 eV (gaz)[5] | ||
| Cristallographie | |||
| Symbole de Pearson | [6] | ||
| Classe cristalline ou groupe d’espace | I43m (n°217)[6] | ||
| Précautions | |||
| SGH[7] | |||
   Danger |
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| SIMDUT[8] | |||
   A, D1A, E, |
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| NFPA 704 | |||
| Transport[7] | |||
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| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |||
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Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium à géométrie tétraédrique et de formule SiF4, il s'agit donc d'un halogénure de silicium (à l'instar du tétrachlorure de silicium de formule SiCl4).
À température et pression ambiantes, ce composé se présente sous forme d'un gaz incolore. Sa plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre −90 °C et −86 °C.
Ce composé inorganique a été synthétisé pour la première fois en 1812 par le chimiste anglais John Davy[9],[3], frère du célèbre physicien et chimiste Sir Humphry Davy.
Production
[modifier | modifier le code]Le traitement thermique de l’hexafluorosilicate de baryum (BaSiF6) à des températures supérieures à 300 °C permet de synthétiser le tétrafluorure de silicium à l'état gazeux ainsi que du fluorure de baryum (BaF2) en tant que résidu solide[3].
Utilisation
[modifier | modifier le code]En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé :
- dans le cadre de l'implantation ionique ;
- en tant qu'agent de nettoyage[3] ;
- et, en conjonction avec le silane (SiH4), pour le dépôt de silice fluorée par PECVD[10].
Références
[modifier | modifier le code]- TETRAFLUORURE DE SILICIUM, Fiches internationales de sécurité chimique
- Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- Nicolas Batisse (Docteur en Chimie des Matériaux), « Fluoration pour la synthèse de matériaux à base de carbone pour le stockage de l’énergie » [[PDF]] (Thèse de doctorat de l'Université Blaise-Pascal), sur hal.archives-ouvertes.fr, Clermont-Ferrand (soutenance) / Lyon (publication), HAL, (HAL tel-00822122, consulté le ), p. 126.
- « Properties of Various Gases »(Archive.org • Wikiwix • Archive.is • Google • Que faire ?), sur flexwareinc.com (consulté le ).
- (en) David R. Lide, Handbook of chemistry and physics, CRC, , 89e éd., 2736 p. (ISBN 978-1-4200-6679-1), p. 10-205
- « The SiF4 Structure », sur cst-www.nrl.navy.mil (consulté le ).
- Entrée « Silicon tetrafluoride » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais) (JavaScript nécessaire)
- « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
- (en) John Davy, « An Account of Some Experiments on Different Combinations of Fluoric Acid » [« Récit de quelques expériences concernant différentes combinaisons de l'acide fluorhydrique »] (Compte-rendu de recherches en chimie inorganique), Philos. Trans. R. Soc., Londres, Royal Society, vol. 102, , p. 352–369 (ISSN 0261-0523, e-ISSN 2053-9223, OCLC 1697286, DOI 10.1098/rstl.1812.0020, JSTOR 107324, lire en ligne [[PDF]], consulté le ).
- Tétrafluorosilane, SiF4, Propriétés physiques des gaz, sécurité, FDS, compatibilité avec les matériaux, équilibre gaz-liquide, enthalpie, masse volumique, viscosité, inflammabilité, propriétés de transport, air liquide, consulté le 7 septembre 2009
